不能有效的真空利用主要前級泵。空系
3、統(tǒng)中
8.超高真空泵
超高真空泵是真空指在超高真空范圍工作的真空泵。
2.粗抽泵
粗抽泵是空系指從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)壓強達到另一抽氣系統(tǒng)可以開始工作的真空泵
。
6.粗真空泵或低真空泵
粗、統(tǒng)中下面我們來看看真空泵在真空系統(tǒng)中的真空作用有哪些？